LAUDA Semistat 熱電式過程恒溫器
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- 公司名稱 曦源科學儀器（上海）有限公司
- 品牌 LAUDA/勞達
- 型號 LAUDA Semistat
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/6/26 15:22:10
- 訪問次數 37
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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 生物產業,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合 |
LAUDA Semistat 熱電式過程恒溫器
產品簡介
LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷（Peltier）技術的高性能熱電式過程恒溫器，專為半導體行業設計。該系列設備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍，適用于等離子刻蝕（Plasma Etching）等高精度溫控應用。與傳統壓縮機制冷系統相比，Semistat 系統能效更高、體積更小，非常適合安裝于潔凈室地板下，節省空間并降低能耗。
核心特點
節能環保：無壓縮機和制冷劑，能效高，能耗低。
緊湊設計：行業內最小占地面積，適合地下安裝，節省潔凈室空間。
快速響應：動態溫控系統，溫度穩定性高達 ±0.1?K。
低液量：極低的熱傳導液體量，減少能量損耗。
兼容性強：支持多種刻蝕設備通信標準。
模塊化設計：便于現場維護和模塊更換。
技術參數
| 型號 | 工作溫度 | 最高工作溫度 | 最大加熱功率 | 20?°C 時制冷功率 | 最大泵流量（壓力） | 外形尺寸（寬×深×高） | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | –20?°C | +90?°C | 3?kW | 1.2?kW | 18.9?L/min（0.274?MPa） | 116?×?232?×?470?mm | 25?kg |
| Semistat S 2400 | –20?°C | +90?°C | 6?kW | 2.45?kW | 同上 | 116?×?300?×?560?mm | 35?kg |
| Semistat S 4400 | –20?°C | +90?°C | 12?kW | 4.4?kW | 同上 | 194?×?300?×?560?mm | 55?kg |
應用領域
半導體制造：用于晶圓刻蝕過程中的溫控，確保刻蝕質量。
實驗室研究：為科研設備提供精確的溫控支持。
潔凈室系統：節省空間并降低能耗，適合潔凈室環境。
高精度制造：滿足對溫控精度要求高的制造工藝。
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