CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX OLED有機無機蒸發鍍膜系統配手套箱
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 9:42:56
- 訪問次數 18
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一、設備性能：
六源蒸發鍍膜儀以金屬/有機源蒸發為主體，適用于實驗室制備金屬單質、氧化物、介電質、半導體膜等，也可用作教學及生產線前期工藝試驗等，整套設備操作簡便，綜合功能多，擴展空間大，適合及滿足大專院校的教學與科研工作。
二、設備基本結構：
鍍膜設備由真空室腔體，金屬/有機源系統，樣品臺系統，真空泵機組，膜厚檢測系統，設備機架，電控系統組成，真空室前門可與手套箱對接，采用一體化的設計方案，整套設備結構緊湊、布局簡潔，避免實驗設備外觀凌亂的現象。
適應領域：
適用于制備金屬電極、鈣鈦礦太陽能電池、OLED、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于于小批量及中試生產或大批量生產前的試驗工作。
產品特點：
設備兼容有機/無機蒸發,可實現多元分蒸或共蒸獲得多層膜、復合膜，性能穩定，尤其溫控有機蒸發源不僅角度可調，均勻性好，同時可通過進口膜厚儀聯動控制實現速率**控制、摻雜；樣品臺可升降調整源-基片距離，有效節約貴重材料，降低實驗成本；ATTO10全自動高真空電阻蒸發鍍膜系統采用windows操作平臺和cotrl2000控制系統，采用IPC+network技術，實現整機主要部件的參數化設置、實施實時監控及故障智能診斷以及膜厚全自動監控，有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外，其它操作過程全部在PC上使用軟件控制；提供真空系統、工藝設置、充放氣系統等友好人機操作界面；在工控機上可通過配方設置參數，實現對程序工藝過程和設備參數的設置、儲存和打印。
膜厚全自動監控系統，自動設計、工藝讀入、參數設置、實時監控等功能，實現整個鍍膜過程的全自動控制。可以設置數十層甚至上百層的膜層控制，簡單實現單層或多層共蒸。
三、設備技術指標：
產品名稱 帶手套箱六源蒸發鍍膜儀 產品型號 CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX 真空室腔體 外形 上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套，真空室內部尺寸 D400*480mm，前后門，后門采用鉸鏈式方門，方便清洗真空腔體，真空室內部調試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，前后門各配 DN100 視窗 1 套； 底部 金屬源接口 2 套，有機源接口 4 套， 復合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套； 頂部 樣品臺接口 1 套，電動擋板接口 1 套，高真空氣動擋板閥接口 1 套 左側 超高真空氣動擋板閥接口 1 套 金屬/有機源系統 金屬蒸發源 金屬蒸發源 2 套:水冷銅電極 2 組，兼容蒸發舟（鎢、鉬和鉭舟）和螺旋絲，配氣動擋板，1KW 直流恒流電源 1 臺（數字顯示），電流調整精度 1A（微調），功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍； 有機蒸發源 4 套 有機蒸發源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，溫控電源 2 臺（溫控表顯示精度 0.1℃），溫度區間：室溫-500℃（控溫精度±1℃），配氣動擋板； 隔板 蒸發源相互獨立，隔板分隔，避免交叉污 樣品臺系統 基片旋轉 轉速 0～30 轉／分連續可調 基片升降 電動升降，襯底與蒸發源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續可調； 樣品臺 圓形托盤 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片 基片擋板 電動擋板 真空泵機組 1) 600L/s分子泵 1 臺； 2) 8L/s雙級泵 1 臺 3) CF150 氣動超高真空插板閥 1 臺； 4) CF40 超高真空氣動擋板閥 1 臺； 5) KF16 高真空氣動擋板閥 1 臺； 6) KF40 高真空氣動擋板閥 1 臺； 7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺； 8) KF40 泵閥連接軟管 2 套，KF40 三通 1 套； 膜厚檢測系統 膜厚儀 三通道石英晶振膜厚監測儀 1 套； 膜厚探頭 CF35 水冷膜厚探頭 3 套 設備機架 1) 40 碳鋼方管焊接機架 1 套，表面噴塑； 2) 萬向輪 4 件，移動調整； 3) M16 地腳 4 件，鎖緊定位 電控系統 金屬源蒸發源氣動擋板 2套 金屬蒸發源電源1kw 1套 有機源蒸發源氣動擋板 4套 有機蒸發源電源 2套（1帶2） 烘烤照明電源 1 臺 樣品臺電動擋板 1套 總控制電源 1套 PLC 控制 配觸摸屏 手套箱 腔體尺寸 L1200* W750* H900mm 手套 3只 大過渡艙 內徑360mm, 長 600mm 小過渡艙 內徑150mm, 長300mm 其他技術參數 1) 缺相保護、誤操作保護，聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能； 2) 供電：～220V 兩相供電系統（峰值 3KW）； 3) 供水：小型冷水機，冷卻水溫度 5℃～35℃，工作環境溫度：10℃～40℃； 4) 供氣：小型無油氣泵，提供 0.2-0.3MPa 氣壓，驅動氣動閥門； 5) 極限真空：優于 6×10-5Pa，大氣至 6×10-4Pa 時間小于 35 分鐘（充干燥氮氣），關機 12 小時真空度≤10Pa。
9) ZDF-5227 數顯真空計 1 臺（測量范圍：1×105～1×10-5Pa）。
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