DS312 壓力式氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 16:49:26
- 訪問次數(shù) 52
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創(chuàng)新點(diǎn)
基于PTC（Pressure，Temperature，Channel）的壓力傳感技術(shù)
P. 特殊定制的傳感技術(shù)，可達(dá)0.1ms。 T. 壓力（P）—溫度（T）雙參量特性溫度補(bǔ)償技術(shù)。 C. 的流體通道設(shè)計(jì)技術(shù)。
全新的壓電閥結(jié)構(gòu)原理技術(shù)
壓電閥采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其具有輸出驅(qū)動(dòng)力大、控制精確度高，結(jié)構(gòu)緊湊、電磁污染小和功耗低、響應(yīng)時(shí)間快。
高精度的壓電閥驅(qū)動(dòng)技術(shù)
采用新型DC/DC控制器，應(yīng)用的BOOST拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，有效地降低了輸出紋波，提高了電源效率。
符合SEMI要求的材料表面處理技術(shù)
a、全金屬密封結(jié)構(gòu)，接觸氣體部分的材質(zhì)，SEMI F20 UHP Compliant，Hastelloy C-22 （特殊氣體選用）； b、EP拋光技術(shù)； c、超微孔加工技術(shù)。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體—微機(jī)電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
半導(dǎo)體—封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | DS312 |
| 流量規(guī)格 | 50~10000sccm （DS312C） |
| 50~5000sccm （DS312W） | |
| 閥類型 | 常閉 |
| 進(jìn)口壓力 | 240～450kPaA 流量規(guī)格≤5SLM |
| 350～450kPaA 流量規(guī)格＞5SLM | |
| 出口壓力 | ≤3.3kPaA （DS312C） |
| ≤13.3kPaA （DS312W） | |
| 耐壓 | 1Mpa |
| 工作溫度 | 10℃ ~ 45℃ |
| 外漏 | 1 x 10-11 Pa·m³ / sec He |
| 精度 ( 包含線性、標(biāo)定系統(tǒng)精度等) | <= ±1%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 重復(fù)精度 | <= ±0.3%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 響應(yīng)時(shí)間（流量達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的±2%內(nèi)） | <= 0.5 sec |
| 標(biāo)準(zhǔn)電源接頭 | DeviceNet接頭 |
| 通訊協(xié)議 | DeviceNet |
| 標(biāo)準(zhǔn)氣路接頭 | IGS-C, IGS-W |
| 接氣部分材質(zhì) | F20 |
注：
1. F.S.： 滿量程full scale
2. kPaA：kPa，絕壓
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)