隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，掃描電鏡及其組合分析功能相繼出現(xiàn)，如微熱臺(tái)和冷臺(tái)系統(tǒng)，主要用于觀察和分析材料在加熱過(guò)程中微觀結(jié)構(gòu)的變化和冷凍;平臺(tái)系統(tǒng)主要用于觀察和分析受力過(guò)程中發(fā)生的微觀結(jié)構(gòu)變化。
掃描電鏡結(jié)合其他設(shè)備的新分析功能，在新材料、新工藝的探索和研究中發(fā)揮著重要作用。那么臺(tái)式掃描電子顯微鏡的工作原理是怎樣的呢?接下來(lái)就帶大家了解一下臺(tái)式掃描電子顯微鏡的工作原理。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡是由電子槍發(fā)出的電子束經(jīng)過(guò)柵極靜電聚焦后成為直徑50微米的點(diǎn)光源，然后在加速電壓作用下，經(jīng)兩三個(gè)透鏡組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束被會(huì)聚成幾十埃大小聚焦到樣品表面。
在末級(jí)透鏡上有掃描線圈，它的功能是使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與試樣物質(zhì)的相互作用，產(chǎn)生各種信號(hào)(二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子等)，這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大器放大處理后經(jīng)過(guò)運(yùn)算電路處理，呈現(xiàn)在顯示屏上。
由于掃描線圈的電流與運(yùn)算電路的相應(yīng)偏轉(zhuǎn)電流同步，因此試樣表面任意點(diǎn)的發(fā)射信號(hào)與顯示屏上的亮度一一對(duì)應(yīng)。也就是說(shuō)，電子束打到試樣上一點(diǎn)時(shí)，在顯示屏上就出現(xiàn)一個(gè)亮點(diǎn)。
而我們所要觀察的試樣在一定區(qū)域的特征，則是采用臺(tái)式掃描電子顯微鏡的逐點(diǎn)成像分解法顯示出來(lái)的。試樣表面由于形貌不同，對(duì)應(yīng)于許多不相同的單元(稱為像元)，它們?cè)陔娮邮Z擊后，能發(fā)出二次電子、背散射電子等信號(hào)，依次從各像元檢出信號(hào)，再一一傳送出去。
傳送的順序是從左上方開(kāi)始到右下方，依次一行一行地傳送像元，直至傳送完一幅或一幀圖像。采用這種圖像分解法，就可以用一套線路傳送整個(gè)試樣表面的不同信息。
為了按照規(guī)定的順序檢測(cè)和傳送各像元處的信息，就要把聚得很細(xì)的電子束在試樣表面做逐點(diǎn)逐行的運(yùn)動(dòng)，也就是光柵狀掃描。
