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高溫爐的操作規程

閱讀:1198        發布時間:2011-10-25

高溫爐的操作規程

       1 準備工作

 

  a,檢查電源線接觸是否良好

 

  b,檢查連接線是否正常

 

  c,檢查冷卻水是否正常

 

  d,檢查密封性是否正常

 

  e, 準備所需工具:無塵紙、*、帆布手套、作業手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤

 

  2 開爐

 

  a,打開主電源開關

 

  b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板

 

  c, 將輸送車開關打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,取出 。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開關.

 

  d, 清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物

 

  3裝料

 

  a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。

 

  b、拔出限位桿,輸送車開關打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內,并確定輸送車會到初始位置。

 

  c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關緊爐門

 

  4 抽氣

 

  a、檢查爐門是否關緊,真空系統是否密封

 

  b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關 P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,

 

  c、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。

 

  d. 加熱 先打開水環泵 再按 RUN,開始工藝加熱。

 

  5.冷卻

 

  a、加熱結束后,按工藝條件進行冷卻;

 

  b、爐內溫度降低至 200℃以下,壓力達到一個大氣壓后才可打開爐門,繼續冷卻。

 

  c、*冷卻至室溫后,將輸送車開關打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕,取出石墨坩堝,取出硅料,并進行分裝。

 

  d、清掃爐體后關閉爐門,將爐體抽成負壓。

 

  e、清理并妥善放置其它附屬物件。

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