EVG光刻機

掩模對準曝光機 光刻膠處理系統

EVG鍵合機

對準設備 晶圓鍵合機 直接鍵合設備 臨時鍵合/解鍵合 金屬鍵合設備

晶圓關鍵尺寸測量

EVG納米壓印機

UV-NIL/SmartNIL紫外壓印 納米壓印母版制作系統

膜厚儀

Thetametrisis膜厚儀 光學相干斷層掃描 全自動同質膜厚測量系統 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺

Herz TDI氣浮式被動防震臺 Herz AVI系列主動防震臺 Herz 電鏡隔振臺 DAEIL DVIA-T主動防振臺 Stefan Mayer主動消磁系統

晶圓厚度測量

硅片厚度測量儀 半自動晶圓厚度測量

應力測量

FSM應力儀 ilis應力儀

3D形貌儀/白光干涉輪廓儀

白光干涉儀 彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學輪廓儀 白光干涉+共聚焦一體機 晶圓形貌和參數檢測

光學鏡頭對準系統(定心儀)

片電阻測量儀

薄膜電阻測量儀

晶圓缺陷檢測

全自動AOI系統 雙2D AOI系統 LAZIN

等離子去膠

微波等離子清洗

橢偏儀

FilmSense 橢偏儀

臺階儀

4D 動態激光干涉儀

PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光學粗糙度測試儀

電容式位移傳感器

Microsense 位移傳感器

磁性材料檢測設備

全自動測量機臺

微納樣品制備加工

等離子體刻蝕與沉積設備

其他品牌

EVG

ThetaMetrisis

LAZIN

FSM

4D

DELCOM

MicroSense

RTEC

DAEIL