表面形貌儀采用的白光共聚焦技術，Zui高掃描速度可達1m/s，可實現對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復性好的優點，測量不受樣品反射率和光的影響，測量簡單，可用于測量大尺寸樣品，如透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料等，主要應用于半導體材料、太陽能電池、醫療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發。
測量原理：
低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片（Smart Pixel技術）連接，所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結果計算輸出，成像于計算機就實現了樣品表面的快速三維形貌測量。
在工業的應用領域：
食品安全在線檢測。
微電子集成電路表面形貌在線檢測。
印刷電路板品質檢測。
零件器件表面劃痕損傷檢測。
微機械精加工質量控制，如鐘表，微機械器件等。
電子產品零件在線監控，如手機，筆記本電腦，平板等。
微流體器件三維形貌檢測。
在線檢測設備集成。
證件防偽，安檢。
技術特點：
1、每秒一百萬張二維圖像。
2、無損表面形貌檢測和分析。
3、高精度在線/離線檢測。
4、模塊化設計，超高集成靈活性。
5、無需苛刻的工作環境（振動，噪聲，溫度等）。
6、可應用于科研和工業領域。
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