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顯微分光光度計MicroSpectrophotometer是多功能顯微薄膜測厚測量儀,結合顯微鏡測量薄膜吸收率,透過率,反射率以及薄膜熒光。這款顯微分光光度計通過測量薄膜反射率快速測量薄膜厚度,測量薄膜光學常量(n &k)以及薄膜thick film stacks。
顯微分光光度計應用
測量薄膜吸收率,透過率
測量化學薄膜和生物薄膜測量
光電子薄膜結構測量
半導體制造
聚合物測量
在線測量
光學鍍膜測量
整套顯微分光光度計的組成是：光柵光譜儀（200-1100nm)+顯微鏡目鏡 適配器+軟件+顯微鏡（可選）。其中目鏡適配器包含鏡頭，可增加光的收集。標準的40X物鏡可做到測量點直徑約200微米。*高倍數的物鏡的測量點*小。 
顯微分光光度計軟件
這款薄膜測試儀配備專業的儀器控制，光譜測量和薄膜測量功能的軟件，具有廣闊的應用范圍。該薄膜厚度測試儀軟件能夠實時采集吸收率，透過率，反射率和熒光光譜，并且能夠能夠快速計算出結果。
對于吸收率/透過率模式的配置，所有的典型參數如 A, T可快速計算出來。其他的非標準參數，如signal integration也能測量出來。
對于反射率測量，該薄膜厚度測試儀軟件能夠精確測量膜層小于10層薄膜厚度（《10nm到100微米）， 光學常量（n & k)。
顯微分光光度計軟件的顯示
顯微分光光度計和自動晶圓傳輸加載系統的連用-用于晶圓薄膜測量
顯微分光光度計-具有成像和光譜對應測量功能
顯微分光光度計的樣品成像功能
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