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進口半自動晶圓探針臺,分析探針臺
  • 進口半自動晶圓探針臺,分析探針臺
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貨物所在地:上海上海市

地: 美國

更新時間:2024-09-02 17:00:08

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這款半自動晶圓探針臺廣泛用作分析探針臺和RF探針臺,可測試100mm晶圓,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導體器件探針臺測試和晶圓探針臺測試應用。

這款半自動晶圓探針臺廣泛用作分析探針臺和RF探針臺,可測試100mm晶圓,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導體器件探針臺測試和晶圓探針臺測試應用。
半自動晶圓探針臺特色
電動XY樣品夾盤,步進電機高精度控制

適合低于0℃的測試應用或者屏蔽RF的應用


樣品臺,行程范圍125mm x 125mm

加載或卸載晶圓非常方便

精密電控XY位移臺和臺板

光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空定位器

高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數3.5X~180X

適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

標準的XYZ三維位移臺顯微鏡

可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件


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半自動晶圓探針臺規格參數

適合晶圓大小:100mm (125mm可選)

電動XY位移臺: 行程范圍125mm x 125mm, 分辨率1.5um

臺板行程:12.7mm 或更大,

臺板調整:帶有粗調和微調功能,重復精度+/-1.5um

臺板平面度:<+/-12.7um @150mm長度

臺板剛度:<50um @4.5kg

樣品夾盤規格

真空:多區真空

平面度:+/-13um

擊穿電壓:500V

隔離度:1G歐姆

調整:360度粗調, +/-6度微調

顯微鏡:高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數范圍3.5X~180X

電學接頭:BNC, Triax, RF, Banana插頭

安裝要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺)

整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

凈重:85kg ~95kg (根據所選不同配件)

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