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自動水滴角測量儀是為半導體晶圓水滴性能測試設計的全自動表面水滴角測試儀器,特別適合晶圓涂層和光刻工藝的工藝控制。
自動水滴角測量儀特點：
-全自動水滴角接觸角映射
-自動樣品定位的電動晶片臺x/phi
-電動自動加藥給液裝置
-自動液滴放置
-軟件控制全自動測量
-視頻圖像中測量結果形成文檔
水滴角測量儀滿足超凈間使用要求,步進電機驅動x/phi位移臺,實現晶片上的任何點都可以快速移動,幾秒鐘完成自動測量,打印出測量結果。
水滴角測量儀測試液滴由自動給液裝置。水滴的圖像立即顯示為PC屏幕上的高質量實時視頻圖片。測量由一次按鍵啟動。軟件確定接觸角度并立即用圖形表示，如同用數字數據表示一樣包括在內。每秒僅1秒的快速測量時間刪除排除錯誤。SURFTENS HL自動擔保zui高再現性和測量精度結合易于操作。
自動水滴角測量儀是為半導體晶圓水滴性能測試設計的全自動表面水滴角測試儀器,特別適合晶圓涂層和光刻工藝的工藝控制。
自動水滴角測量儀特點：
-全自動水滴角接觸角映射
-自動樣品定位的電動晶片臺x/phi
-電動自動加藥給液裝置
-自動液滴放置
-軟件控制全自動測量
-視頻圖像中測量結果形成文檔
水滴角測量儀滿足超凈間使用要求,步進電機驅動x/phi位移臺,實現晶片上的任何點都可以快速移動,幾秒鐘完成自動測量,打印出測量結果。
水滴角測量儀測試液滴由自動給液裝置。水滴的圖像立即顯示為PC屏幕上的高質量實時視頻圖片。測量由一次按鍵啟動。軟件確定接觸角度并立即用圖形表示，如同用數字數據表示一樣包括在內。每秒僅1秒的快速測量時間刪除排除錯誤。SURFTENS HL自動擔保zui高再現性和測量精度結合易于操作。
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