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這款真空變溫探針臺是專業變溫真空晶圓流測試設計的專業變溫真空探針臺,滿足晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍達到液氮溫度 -180℃~600℃,特別適合高溫和極低溫環境下晶圓真空變溫測試和射頻測試。
真空變溫探針臺特點
測試溫度：-180℃~600℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
即使在真空狀態下，也可以使用外部操作型定位器（探頭）移動致動器
良好的光和電屏蔽效果
MJ-8型探針臺可用于霍爾效應測量
真空變溫探針臺應用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試：20KV DC/200A
RF射頻測試
高功率器件測試20kV DC/200A
高溫和極低溫晶圓溫度特性測試
氣體環境測試
真空變溫探針臺可選配件
冷熱臺 -180℃~+600°C
各種光源
三目顯微鏡（標配體視顯微鏡）
CCD相機
Probe card (4.5 inch square PCB)
真空變溫探針臺可連接配合的測試儀器
設備分析儀/參數分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數字萬用表
阻抗分析儀
網絡分析器
真空變溫探針臺規格參數
| 型號 | MJ-8 | MJ-10 |
| 晶圓卡片尺寸 | 20x20mm | φ60㎜ |
| 真空度（使用渦輪泵） | 10?3 Pa | 10?3 Pa |
| 腔室尺寸 | φ116×30㎜（H） | φ216×138㎜（H） |
| 探針移動距離 | X：5㎜ Y：5㎜ Z：3㎜ | X：8㎜ Y：5㎜ Z：8㎜ |
| 探針工作范圍 | X:~18㎜ Y:~15㎜ | X:~40㎜ Y:~20㎜ |
| θ分辨率 | 0.001度 | 0.000022294deg |
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