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這款266nm連續DUV激光器是OXIDE是深紫外DUV波長266nm單頻激光器。OXIDE高可靠性波長轉換模塊和高速、精密音圈電機（VCM）激光器實現了連續波的穩定運動。根據輸出功率，您可以從三種類型中選擇合適的型號–Frequad HP、Frequad-M和Frequad-C。
266nm連續DUV激光器優點
超高純BBO晶體確保高質量倍頻
在1W輸出功率下，單點壽命超過3000小時，在2W輸出功率下，單點壽命超過1000小時。此外，晶體的微小劣化確保了在高光束質量下長時間穩定運動。
精密伺服鎖技術
高速、高精度音圈電機（VCM）伺服驅動器提供穩定的連續激光運動。
低功耗
高效的波長轉換激光系統實現了極低的功耗——小于340W。
266nm連續DUV激光器典型應用
半導體檢測
拉曼光譜激發
光致發光激發
磁盤母盤
光纖布拉格光柵
266nm連續DUV激光器規格參數
| 型號 | Frequad-HP FQ50-20/-10 | Frequad-M FQM-10/-07/-05/-03 | Frequad-C FQC-50/-20 |
| 波長 | 266 nm | 266 nm | 266 nm |
| 輸出功率 | 2.0/1.0 W | 1.0/0.7/0.5/0.3 W | 50/20 mW |
| 線寬 | < 0.005 pm | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
| 功率穩定性 | < +/-1 %/8 hrs | < +/-1 %/8 hrs | < +/-3 %/8 hrs |
| 消光比 | > 100:1 | > 100:1 | > 100:1 |
| 光束質量 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.3 |
| 偏振態 | Vertical, Linear | Vertical, Linear | Vertical, Linear |
| 光斑直徑 | 3 mm ±0.3 mm | 3 mm ±0.3 mm | 0.8 mm ±0.2 mm |
| 發散角 (1/e2) | < 0.2 mrad | < 0.2 mrad | < 0.4 mrad |
| 供電要求 | AC 100-240V 50/60Hz | AC 100-240V 50/60Hz | AC 100-240V 50/60Hz |
| 功耗 | < 300 W | < 340 W | < 70 W |
| 制冷 | Air | Water | Air |
| 激光頭尺寸 | 240 x 840 x 160 mm | 350 x 590 x 124 mm | 153 x 202 x 79 mm |
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