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電子束-電阻熱蒸發復合鍍膜系統集合了電子束沉積鍍膜和電阻式熱蒸發鍍膜沉積功能。
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動快門的前門上的4“直徑觀察口
帶水冷坩堝的單/多槽電子束源（4cc至75cc）
帶X-Y掃描控制器的高壓電源（3kW至15kW）
匹配雙級旋轉葉片泵的渦輪分子真空泵系統
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數字顯示和讀數的全量程真空計
兩個帶獨立百葉窗的電阻熱源
PLC控制系統
電子束-電阻熱蒸發復合鍍膜系統可選配項目
冷水機
具有樣本傳輸適應性的負載鎖定系統
多軸基板臺旋轉
石英燈加熱器（從300°C到800°C）
行星基臺
PC控制系統
水冷基板級
SQC 310膜厚監測器和沉積控制器
電動快門組件
大容量坩堝及電源
干式渦旋泵
低溫泵送系統
冷陰極或熱陰極電離計
可調尺寸和高度，適用于基板平臺
用于未來升級的額外備用法蘭
帶數字讀數的質量流量控制器
射頻清洗能力
現場掩模變換器
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