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進口小型旋涂機SPIN150i是150mm單片旋涂機,專為MEMS、半導體、光伏、微流體等領域的研發和小批量生產而設計，適用于所有典型的旋涂工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
進口小型旋涂機SPIN150i適用于處理小至5mm、高達150?（或6"）或4“x 4"基板的晶圓。可拆卸觸摸面板。配方的無限程序存儲，每個步驟都有多個（CW & CCW rotation用于浸置式顯影旋涂應用的順時針和逆時針旋轉）。
進口小型旋涂機特點
工藝種類齊全，包括旋涂和浸置式顯影
結構緊湊，方便實驗室防置
大屏幕彩色觸摸屏
專為各種光刻化學光刻膠設計
進口小型旋涂機SPIN150i規格參數
程序數：無限制
程序的步進數：無限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋轉方向：順時針，逆時針，puddle浸置式
最大加速度：30000rpm/s
旋涂時間：無限制
外殼材質：NPP
旋涂室材質：NPP
外部鏈接：1個USB接口連接控制器
最大襯底直徑：160mm 或4''x4'’方形
最大旋涂室直徑：202mm
尺寸:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm
重量：14kg
供電要求：200-240VAC
最大功耗：500W
真空：- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD ?8mm
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