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光伏光譜橢偏儀是專業(yè)為光伏太陽能領(lǐng)域薄膜測量而開的太陽能薄膜橢偏儀,為光伏薄膜厚度測量研究提供便利，具有實(shí)時(shí)原位測量光伏薄膜厚度和太陽能薄膜厚度繪圖的功能,通過配置不同波段,可測量CdTe薄膜厚度和CIGS薄膜厚度。
光伏光譜橢偏儀典型應(yīng)用
防反射增透鍍膜涂層、SiNx、SiOx測厚
CdTe、CIGS、CdS、Mo薄膜測厚
非晶硅、納米硅和晶體硅測量
各種TCO薄膜（ITO、FTO、IZO、AZO等）測量

光伏光譜橢偏儀具有250-1100nm的波長范圍，覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外的光譜范圍.深紫外波長非常適合測量硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。
橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。
與反射計(jì)或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于*化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于固定角橢偏儀。

光伏光譜橢偏儀solar特色
易于安裝，拆卸和維護(hù)
**的光學(xué)設(shè)計(jì)
自動(dòng)改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_(dá)0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實(shí)或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量
一鍵快速測量
全自動(dòng)標(biāo)定和初始化
精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直，不需要額外光學(xué)
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
光伏光譜橢偏儀solar參數(shù)
波長范圍：250-1100nm
波長分辨率：1nm
測量點(diǎn)大小：1-5mm可調(diào)
入射角：0-90度可調(diào)
入射角分辨率：5度
可測樣品大小：高達(dá)160x160mm
可測樣品厚度：高達(dá)20mm
測量薄膜厚度：0nm ---20um
測量時(shí)間：~1s/點(diǎn)
精度：~0.25%
重復(fù)精度：<1A



光伏光譜橢偏儀solar可選配件
反射或透射光度測量配件
微點(diǎn)測量小面積
X-Y位移臺(tái)用于厚度繪圖
加熱臺(tái)/制冷臺(tái)用于薄膜動(dòng)力學(xué)研究
垂直樣品安裝測角計(jì)
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置