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深紫外-可見-近紅外多波段橢偏儀是覆蓋190nm-1700nm光譜范圍的DUV-VIS-NIR光譜橢偏儀,非常適合超薄薄膜厚度測量,納米薄膜膜厚測量應用。
DUV深紫外橢偏儀特別適合測量超薄薄膜，如納米厚度薄膜,典型例子是硅晶片上的自然氧化物薄膜，其薄膜厚度通常僅為約1nm-2nm。
DUV深紫外橢偏儀還很適合測量許多材料的帶隙。
可見近紅外范圍VIS-NIR橢偏儀用于測量相對較厚的薄膜,也適合測量薄膜的光學常數。
深紫外-可見-近紅外多波段橢偏儀產品特色
使用基于Windows的軟件易于操作
**的光學設計，實現***佳系統性能
用于寬帶應用的高功率DUV-VIS-NIR光源
基于陣列的探測器系統，確保快速測量
用戶可以定義任意數量的圖層
可用于實時或在線厚度、折射率監測
系統配有全面的光學常數數據庫和庫
**的TFProbe 3.3.X軟件允許用戶對每張膠片使用NK表、色散或有效介質近似（EMA）。
三種不同的用戶級別控制：工程師模式、系統服務模式和易用用戶模式
靈活的工程師模式，用于各種配方設置和光學模型測試
強大的一鍵式（交鑰匙）解決方案，用于快速和常規測量
可配置的測量參數、用戶偏*和易于操作
系統的全自動校準和初始化
直接從樣品信號獲得精確的樣品對準接口，無需外部光學元件
精確的高度和傾斜調節
適用于多種不同厚度的基材
各種選項，可用于特殊配置的配件，如標測臺、波長擴展、焦點等。
2D和3D輸出圖形和用戶友*的數據管理界面
深紫外-可見-近紅外多波段橢偏儀規格參數
型號和波段 | SE200 (DUV-Vis) | SE300 (Vis) | SE450 (Vis-Nir) | SE500 (DUV-Vis-Nir) |
探測器類型 | CCD或CMOS陣列 | CCD或CMOS陣列 | CCD或CMOS和InGaAs陣列 | CCD或CMOS和InGaAs陣列 |
波長范圍 | 190-1100nm | 370-1100nm | 370-1700nm | 190-1700nm |
波長數據點 | 測量波長范圍和波長數據點均可訂購時選配（數據點僅受分辨率限制） | |||
波長分辨率 | 0.01-3nm | 0.01-3nm | 0.01-3nm | 0.01-3nm |
| 光學選配 | 根據應用或客戶偏*進行步進掃描或旋轉偏振器/分析儀/減速器；使用PCSA或PSCA配置，可以測量完整的360度模型；還提供PCSCA雙減速器配置，用于16個全元件（4x4）Mueller Matrix測量 | |||
數據采集時間 | 100ms-10s,用戶可定義 | |||
入射角范圍 | 20-90度 | |||
入射角分辨率 | 5度-手動型調整配置 | |||
偏光器件 | 起偏器，檢偏器等 | |||
光斑尺寸 | 1-5mm孔徑可調 | |||
光源 | (D2+TH)/Xe | TH | TH | (D2+TH)/Xe |
燈泡壽命 | 4000 hrs. | 10000 hrs. | 10000 hrs. | 4000 hrs. |
可測薄膜厚度 | ***高30 µm | 20nm-50 µm | 20nm-50 µm | ***高50 µm |
測厚分辨率 | < 1? or 0.1% (with 200 ? thick SiO2onSi Standard, precision better than 0.2 ?) | |||
折射率精度 | 0.0001 | |||
測厚精度 | 0.25% | |||
| 系統角度精度 | UV-Vis Range: Psi 45° ± 0.05°, Delta 0° ± 0.1° ; NIR Range: Psi 45° ± 0.1°, Delta 0° ± 0.2° | |||
樣品臺 | 黑色陽極氧化鋁合金真空吸盤，通常直徑為150x150mm或200mm；其他尺寸（如450mm）可根據要求或基于自動映射行程范圍進行配置 | |||
Z-位移臺 | 精密Z臺，典型行程范圍為12mm，用于樣品高度調節，電動Z臺是可選的，行程范圍可定制高達50mm（~2英寸） | |||
Tilting傾斜校準 | 三點傾斜手動對準機構通常配備非標測工具，電動自動傾斜可作為選項；對于自動測繪工具，提供無需進一步傾斜調整的預調平平臺。 | |||
軟件 | 標配 | |||
接口 | USB | |||
操作系統 | Both 32bit and 64 Bit, Win XP, 7, 8, 10,11 | |||
計算機配置建議 | Intel i5, 500 GB space, 8GB RAM; 24" LCD Monitor or equivalent Laptop | |||
供電要求 | 110– 240 VAC /50-60Hz, 3A | |||
平臺 | 桌面式或原位配置 | |||
重量/尺寸 | ~ 75kg / 38(L)x22(D)x34(H)" | |||
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