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晶圓熱退火爐,晶片惰性氣氛熱退火系統
  • 晶圓熱退火爐,晶片惰性氣氛熱退火系統
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貨物所在地:上海上海市

地: www.felles.cn/p

更新時間:2024-12-16 11:07:28

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這款晶圓熱退火爐是半導體晶片惰性氣氛快速熱退火系統,適合晶圓的最大直徑為100mm,晶圓通過上部快速檢修門手動裝入腔室,并放置在熱補償石墨臺上。加熱器系統基于線性鹵素燈,位于爐體下

這款晶圓熱退火爐是半導體晶片惰性氣氛快速熱退火系統,適合晶圓的最大直徑為100mm,晶圓通過上部快速檢修門手動裝入腔室,并放置在熱補償石墨臺上。加熱器系統基于線性鹵素燈,位于爐體下方。這種設計確保了均勻的晶圓加熱,沿晶圓表面具有紅外發射的非均勻吸收(例如,具有成形金屬拓撲結構的晶圓)。
晶圓熱退火爐允許執行相對較短的工藝,溫度高達1000°С,最大加熱速率高達40°С/s。對于與接觸退火無關的應用,系統可在無石墨工作臺的情況下運行,石墨工作臺的加熱速率可提高至200°С/s。最高溫度下的退火時間可達10分鐘。該室由鋁制成,具有集成的水冷100mm石英窗口,用于在退火過程中監測晶片,也可用于安裝可選的光學高溫計。
晶圓熱退火爐
晶圓熱退火爐特點

•帶水冷的鋁制工藝室

•通過膜或渦旋(可選)泵對工藝室進行初步泵送

•晶閘管控制器的加熱功率操作

•自動泵送和氣體凈化室,允許“一鍵式"工藝操作

•內置PID控制器的多級退火過程

•通過兩個控制熱電偶監測加熱臺溫度

•光學高溫計,用于額外控制晶圓表面溫度(可選),可通過石英窗口沿晶圓表面進行X-Y溫度掃描

•高運行間再現性

•易于操作和維護


晶圓熱退火爐規格參數

工藝過程反應器中的極限壓力:<10Torr (可選<5×10

-3

泵浦速率: 5 m^3/h

反應器壁水冷: 是的

最大晶圓直徑:100mm

最大加熱速率:200℃/s  (不帶電極夾具)

最大加熱速率:40℃/s  (帶電極夾具)

最大加熱溫度:1000℃

熱均勻性@100mm直徑: +/-2(<1300℃)

真空退火:無

氧氣退火:無

自動化退火:標配


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