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使用DELTA流量比例控制器（FRC）能更容易獲得Z佳的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設備中，F(xiàn)RC使用戶能夠將氣體或混合氣體分送至同一反應室中的兩個不同區(qū)域。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設定比率，F(xiàn)RC會自動將氣體分送到兩個不同的出口。

DELTA™

流量比例控制器

使用DELTA™流量比例控制器（FRC）能更容易獲得*的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設備中，FRC使用戶能夠將氣體或混合氣體分送至同一反應室中的兩個不同區(qū)域。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設定比率，FRC會自動將氣體分送到兩個不同的出口。

在任何新的和已有的工藝設備中使用FRC都很簡單。擁有大量程范圍的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供選擇，FRC均可以滿足您的要求。憑借擁有版權的計算器，我們應用工程師們將為您的應用選擇正確的部件。MKS會傳送給您有關機械和電學細節(jié)的電子文檔，幫助您開始進行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。

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