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1150蒸汽源質(zhì)量流量控制器MFC是一種基于壓力的測量和控制系統(tǒng)，用于直接測量和控制從低蒸汽壓液體源和固體源中產(chǎn)生的蒸汽，而無需其它運載氣體。

1150由一個固定流體單元、一個用于流量測量的電容壓力計和一個用于流量控制的比例電磁控制閥（美國號No . 4,679,585）組成。1150組裝為一個緊湊的、可控制溫度的組件，配有一個溫度狀態(tài)LED顯示器和繼電器來顯示溫度是否處于合適的范圍。

基本價格

質(zhì)量流量控制器帶有15針D型連接器，請《MKS應(yīng)用工程部》，將會為你的應(yīng)用所需的合適系統(tǒng)配置進行一次電腦分析，分析的結(jié)果將確定正確系統(tǒng)配置的采購序列號。

用于1150C的電纜線

CB259-5-10用于將1150/1152 連接至246, 247                                                 

CB147-1-10用于將1150/1152 連接至647                                                        

CB260-3-10用于將1150/1152功率接口連接至260PS-1或用于加熱器的3B                    

備注：1150和1152有一個加熱器，以提供zui高150°C的工作溫度