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優(yōu)勢(shì)
1，3 + 1 個(gè)傳感元件，測(cè)量范圍極廣，降低成本，節(jié)省空間
2，雙燈絲設(shè)計(jì)
3，獨(dú)立于氣體類型的壓力測(cè)量（10 托以上）為任何混合氣體提供更可靠的負(fù)載鎖定控制
4，壓差測(cè)量消除了與大氣壓力變化有關(guān)的不確定性
5，自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員的干預(yù)
6，電隔離電子元件可避免雜散電流
7，滑動(dòng)排放模式，避免在切換排放流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
8，設(shè)定點(diǎn)繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 TripleGauge® BCG450

13，符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、傳輸和負(fù)載鎖定室中的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜

低真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制

測(cè)量范圍 (氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 1500 mbar    
準(zhǔn)確度  950 ... 1050 mbar ±2.5% 讀數(shù)  
           50 ... 950 mbar ±5% 讀數(shù)  
           1 × 10-8 … 50 mbar ±15% 讀數(shù)    
           可重復(fù)性 5% 讀數(shù), 1 × 10-8 … 1050 mbar (穩(wěn)定 10 分鐘后）  
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

BCG552 ATM至超高真空真空計(jì)