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新型 INFICON 皮拉尼壓電組合壓力計（PPG550 ATM 至中真空計）基于**的 MEMS（微機電系統）傳感器技術。

PPG550 ATM 至中真空計

新型 INFICON 皮拉尼壓電組合壓力計（PPG550）基于**的 MEMS（微機電系統）傳感器技術。

在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術可以構建一個非常小的傳感器，從而節省空間，這使得測量設備的整體高度非常小成為可能。

除了高度低的優勢外，基于MEMS技術的皮拉尼還具有在高壓范圍內比經典皮拉尼更深、更精準地測量的優勢。結合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器，皮拉尼真空計成為真正的真空寬量程計，將測量范圍擴展到遠遠超過通常的1000 mbar，也朝向大氣。同時，MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術的另一個優點是增加了對加速力和振動的抵抗力。

*后但并非*不重要的一點是，新型 INFICON PPG550 可用于直接插入，取代所謂的 MKS910“雙傳™微型皮拉尼 - 絕對壓電真空壓力傳感器"以及 MKS925“微型皮拉尼™™真空壓力傳感器"。Inficon 具有相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和 RS232/485 兼容性。

PPG550 ATM 至中真空計

好處

1，氣體類型與 2 mbar 以上無關 – 允許使用任何氣體混合物安全排氣

2，在大氣中具有高精度和可重復性 – 用于可靠、快速的大氣壓檢測

3，安裝方向的多功能 – 為工具設計提供工程自由度

4，可選模擬輸出信號，便于系統集成

5，數字接口 RS232/ RS485

6，合規性和標準：CE，EN，UL，CSA，RoHS

7，能夠直接替換MKS910“雙傳™微型皮拉尼™ - 絕對壓電真空壓力傳感器"以及MKS925“微型皮拉尼™真空壓力傳感器"。

DualTrans™ MicroPirani™ 是 MKS Instruments， Andover， MA 的注冊商標

8，合規性和標準：CE，EN，UL，CSA，RoHS

典型應用

1，用于分析設備/質譜儀

2，物**相沉積

3，前線測量

4，氣體回填

PPG550 ATM 至中真空計

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