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BAG302 中到超高真空真空計

INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的廣泛測量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計 BAG302 能夠輕松地更換雙絲極傳感器、內置 OLED 顯示器、設定點繼電器和對數線性模擬輸出以及集成 RS485 數字接口，提高了集成靈活性。這些功能配以堅固的設計，使 BAG302 為其自身的基本壓力測量儀器帶來經濟且可重復的過程，并提供高價值/低擁有成本的選擇。

好處
1，測量范圍從 1.3 × 10-9至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9至 5 × 10-2Torr）
2，雙標準長使用壽命氧化釔銥絲
3，一體式主動測量儀，內置顯示器、設定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數字接口
4，帶鍵盤的明亮的數字 OLED 顯示屏，簡化設置、操作和編程
5，用戶可編程的設定點繼電器
6，用戶可編程的顯示器單位：mbar、Torr 或 Pa
7，用戶可選的發射電流自動設換范圍
8，機械強度和堅固性
9，各種法蘭的選擇
10，易于更換的傳感元件
11，合規和標準：CE、RoHS

12，直接取代 Granville-Phillips®354 Micro-Ion®模塊 – 包括軟件命令在內的相同控制功能 （RS485）（Granville-Phillips®和 Micro-Ion®是 MKS Instruments， Andover， MA 的注冊商標）

新聞

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典型應用
1，對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
2，工業鍍膜
3，低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

BAG302 中到超高真空真空計