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當前位置：> 供求商機> INFICON UL1000氦檢漏儀
UL1000符合微電子 工業生產 的要求。從堅固的金屬外殼 到方便移動 的 滾輪 ，至 I·C AL, 用于消除在10 -11 至10 -12 超高靈敏漏率范圍中長平衡時間 的運算法則，都無不顯示了其的*性。
系統軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果于狀態信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。 通過更新軟件，新的固件可通過標準接口在數分鐘內完成安裝。
應用： | ||||||||||||||||||||
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技術參數 zui小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標準） ＜5×10 -12 mbar.l/s zui小可檢漏率（吸槍模式） ＜3×10 -8 mbar.l/s 入口壓強 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar 抽泵抽速 16-25立方米/小時 氦氣抽速（進氣口處） 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒 可檢質量數 2、3、4amu, 氫， 3 氦，氦 電源電壓 110－120V；220－240V 重量 110公斤；242磅 尺寸，包括手把（長×寬×高） 1068×525×850毫米 |
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