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EMS7620-迷你型離子濺射鍍膜儀

  • 發(fā)布日期：
  • 有效日期：
  • 所 在 地：
  • 產　　地：
  • 已獲點擊：

  • 2025年3月11日
  • 2025年9月11日
  • 北京北京市
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【產品簡介】

小型鍍膜儀器，性價比高，特別適合一般的鍍膜實驗


【詳細說明】

EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater
 
EMS 7620是一款緊湊、實惠型SEM離子濺射鍍膜儀，鍍碳附件EMS7620-CF作為可選件為鍍碳時所需。該款設備具備輝光放電功能，這對于TEM的碳膜或其它材料樣本表面修飾非常有幫助。
特征：
  • 價格實惠
  • 操作簡單
  • 磁控管濺射頭
  • 結構堅實
  • 碳絲蒸發(fā)可選
  • 樣本臺高度可調
  • 靶材更換簡便，金/鈀為標配靶材
  • 符合的安全規(guī)程要求，具備主動電氣連鎖功能，確保操作安全
  • 三年質保
規(guī)格參數(shù)：
整機尺寸
340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室
 
現(xiàn)場條件：
電氣要求
240VAC - 13A, 頻率50Hz，額定功率250VA,真空泵的額定輸出是230V 、10A
濺射氣體
氬氣（零級），配有二級壓力調節(jié)器，工作氣體壓力在5-10psi
真空泵
真空壓力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二級旋轉真空泵
碳蒸發(fā)附件（可選）
EMS 7620-CF 碳蒸發(fā)附件與EMS7620可以配套使用
 
貨號
產品
規(guī)格
EMS 7620
EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater
包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target, 1m length of 12mm bore flexible vacuum hose, 1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug, comprehensive operating instructions
each
91017-Au
金靶Gold （Au） target
each
91017-AP
金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target
each
91017-Pt
鉑靶Platinum （Pt） target
each
91017-Ag
銀靶Silver （Ag） target
each
91017-Pd
鈀靶Palladium （Pd） target
each
91017-.2-Au
金靶Gold target （Au） 0.2mm thick
each
91017-.2-AP
金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick
each
91017-.2-Pt
鉑靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick
each
91003
愛德華旋轉真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter （115/230V 50/60Hz）
each
96000
Replacement oil mist filter
each
91040
碳蒸發(fā)附件（鍍碳時選用）Carbon evaporation attachment — EMS 7620
each

    
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