等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固、液、氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化，便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清洗機通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，以達到清洗目的。
具體來說，等離子清洗機的工作原理主要涉及兩個方面：
物理作用：高能離子轟擊材料表面，去除表面的污染物或氧化層。
化學作用：等離子體中的活性自由基與材料表面發生化學反應，生成揮發性物質或改變表面化學性質。
等離子清洗機具有以下特點：
干燥處理：清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個工藝流水線的處理效率。
無害處理：等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題。
綠色環保：避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，清洗后不會產生有害污染物，屬于環保的綠色清洗方法。
不受形狀限制：采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。
易于清潔：使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，生產場地很容易保持清潔衛生。
材質廣泛：等離子清洗機可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物)都可以使用等離子體來處理，特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。
改善性能：在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等。
