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日本電測熒光X-Ray鍍層測厚儀EX-731
日本電測熒光X-Ray鍍層測厚儀EX-731替代老型號EX-3000
EX-731規格參數：
測量臺操作方式 | 手動 | 自動 | ||||
測量行程 | 單位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |||
移動量 | X(mm) | 70 | 80 | |||
Y(mm) | 70 | 60 | ||||
Z(mm) | 80（測定物高zui大150） | 50 | ||||
測定物高（zui大） | 80（150可選） | 50 | ||||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||||
重量(kg) | 79 | 85 | ||||
測量臺載重(kg) | 3 | 1 | ||||
電源 | AC200V±10V | |||||
X線源 | 油浸式小型微焦點Ｘ線管 | |||||
照射方式 | 上面垂直照射方式 | |||||
検出器 | 比例計數管 | |||||
準直孔 | 5種類(自動切換式) | |||||
樣品觀察 | CCD鏡頭 | |||||
測定対象 | 原子番號22(Ti)～82(Pb) | |||||
濾波器 | (Co、Ni)自動切換 | |||||
厚度測定范圍 | 原子番號22～24：0.2～約20μm | |||||
検量線 | 検量線自動作成 | |||||
測量功能 | 単層膜厚測定 | |||||
測量模式 | 自動測量 | |||||
自動測量臺功能 | 測定位置(X-Y-Z) 測定位置確認功能 | |||||
數據処理機能 | 統計量表示：平均、標準偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk | |||||
EX-731可測量厚度元素種類：
