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平行平晶
*平行平晶是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。
*平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
*平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規和千分尺卡規等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。共分四個系列，每個系列各分六組，每組四塊。
功能：用于干涉法測量千分尺、卡規和千分表等測量面平面度、平面平行度。
產品規格：
每組共四塊，分四個尺寸系列組
測量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
| 組Ⅰ |
| 0－25mm | 4塊/組 |
組Ⅱ |
| 25－50mm | 4塊/組 |
組Ⅲ |
| 50－75mm | 4塊/組 |
組Ⅳ |
| 75－100mm | 4塊/組 |
尺寸系列表
| 組號 | 0－25 | 25－50 | 50－75 | 75－100 |
1 | 15.00，15.12 | 40.00，40.12 | 65.00，65.12 | 90.00，90.12 |
2 | 15.12，15.25 | 40.12，40.25 | 65.12，65.25 | 90.12，90.25 |
3 | 15.25，15.37 | 40.25，40.37 | 65.25，65.37 | 90.25，90.37 |
4 | 15.37，15.50 | 40.37，40.50 | 65.37，65.50 | 90.37，90.50 |
5 | 15.50，15.62 | 40.50，40.62 | 65.50，65.62 | 90.50，90.62 |
6 | 15.62，15.75 | 40.62，40.75 | 65.62，65.75 | 90.62，90.75 |