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產品簡介
離子進入四過濾器按不同質荷比分離，采集離子流，放大后進行數據處理，獲得相應的質譜數據。
儀器可安裝在使用者的高真空設備上進行殘氣分析，亦可配備適當的高真空系統和進樣裝置作為立的分析儀器使用。
產品介紹
| 四質譜計 型號：NGZL-203 | 貨號：ZH9531 |
| 產品簡介: 四質譜計是在高真空條件下，離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。 離子進入四過濾器按不同質荷比分離，采集離子流，放大后進行數據處理，獲得相應的質譜數據。 儀器可安裝在使用者的高真空設備上進行殘氣分析，亦可配備適當的高真空系統和進樣裝置作為立的分析儀器使用。 離子流采集的常規結構為法拉弟筒/通道倍增器復合式（即 FC/CEM ）。離子流放大器的輸入高阻設為 10M Ω ,1G Ω , 100G Ω 三擋，采用電子倍增器方式時一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數據處理系統適用于 WindowsXP 或 Windows2000 ，儀器提供模擬譜圖，棒狀譜圖和多達 10 個離子的多離子監測譜圖。數據系統的接口界面由 80C 196 單片機（ 16 位）以及 A/D 、 D/A 等構成，RS232 串口與電腦通訊實現儀器的控制與數據處理。儀器安裝方便，操作簡單，應用與真空科學、電子、半導體工業、石油化工的催化研究等多種領域。另外，本儀器可以派生為儀器，如，已用于計量作為鑒定分子漏孔的氦四質譜計。 指標 范圍：1-100u，1200u，1300u 靈敏度：1×10 -1A/Pa （ 對 N--2 ，帶CEM） 分辨率： △m ＜1（10% 谷） 峰位穩定性：±0.4u/4h 掃描速度：100ms-30s/u 檢 測 器：FC，FC/CEM ，或 FC/MCP （FC-法拉弟筒，CEM通道倍增器MCP-微通道板） zui高工作壓強：1×10 -2 Pa zui高烘烤溫度：30 0 ℃ 接口法蘭：CF50，CF63 電子單元尺寸：240×150×150mm 四探頭伸入真空腔尺寸： 1-100u：φ70X180mm 1-300u：φ70X250mm |  |
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