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泵軸位置	其他	輸送介質(zhì)	其他
葉輪數(shù)目	其他	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),綜合

ULVAC 空冷式多級羅茨型干式真空泵

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

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