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主要技術指標型號 D07-19B 1 流量規格（ 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （ 0~1,2,3,5,10,20,30） SLM 2 準確度 ±1 % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.） 3 線性 ±（0.5~1） % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.） 4 重復精度 ±0.2 % F.S. 5 響應時間

D07-19BM質量流量控制器

特點: ★高精度，快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭，標準機械接頭 ★兼容用途: 質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

型號 D07-19B
1 流量規格（ 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （ 0~1,2,3,5,10,20,30） SLM

2 準確度 ±1 % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.）
3 線性 ±（0.5~1） % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.）
4 重復精度 ±0.2 % F.S.
5 響應時間 1 ~ 4 sec
6 氣壓降 <0.02 MPa （2.9 psid）

7 耐壓 10 MPa （1450.4 psig）

8 工作環境溫度5 ℃ ~ 45 ℃
9 輸入輸出信號
0 V ~ +5.00 V
（輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA）
10 電源
+15 V 50 mA
-15V 200 mA
11 外形尺寸 mm Swagelok：127×38×107 VCR：124×38×107
19 重量 kg 0.7

D07-19BM質量流量控制器

注意:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為: SCCM （標準毫升/分）;
SLM （標準升/分）
標準狀態規定為: 溫度 --- 273.15K （ 0℃ ）;
氣壓 — 101325 Pa （760mm Hg）
F.S. （Full Scale）: 滿量程值

D07-19BM質量流量控制器

主要技術指標

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