化學隔膜泵是針對腐蝕性氣體和蒸汽的一種持續的、無油抽氣的解決方案，可以滿足許多高真空要求。三級泵的結構同時具有大抽氣速度和超高極限真空的優點，而且泵的尺寸非常小。所有與被抽介質接觸的部件都是由抗化學腐蝕的氟材料構成。經廣泛驗證的PTFE“三明治”夾層結構的膜片穩定性更高，延長了操作壽命。將MD 1C配合氣鎮使用，非常適合用于易冷凝性蒸汽。
主要材質：
化學隔膜泵是執行器的主要類型，通過接受調節控制單元輸出的控制信號，借助動力操作去改變流體流量。隔膜泵在控制過程中的作用是接受調節器或計算機的控制信號，改變被調介質的流量，使被調參數維持在所要求的范圍內，從而達到生產過程的自動化。如果把自動調節系統與人工調節過程相比較，檢測單元是人的眼睛，調節控制單元是人的大腦，那么執行單元—隔膜泵就是人的手和腳。要實現對工藝過程某一參數如溫度、壓力、流量、液位等的調節控制，都離不開隔膜泵。
其常用的有五種材質：塑料、鋁合金、鑄鐵、不銹鋼、特氟龍。電動隔膜泵有其中四種材質：塑料、鋁合金、鑄鐵、不銹鋼。隔膜泵膜片根據不同液體介質分別采用丁腈橡膠、氯丁橡膠、氟橡膠、聚四氟乙烯、聚四六乙烯等安置在各種特殊場合，用來抽送各種介質以滿足需要。
流量特性：
隔膜泵的流量特性是指介質流過閥門的相對流量與位移（閥門的相對開度）間的關系，理想流量特性主要有直線、等百分比（對數）、拋物線和快開等4種。常用的理想流量特性只有直線、等百分比（對數）、快開三種。
具體從以下幾方面考慮：
1、從調節系統的調節質量分析并選擇；
2、從工藝配管情況考慮；
3、從負荷變化情況分析。
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