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VEGA3掃描電子顯微鏡是 TESCAN 公司推出的*款掃描電子顯微鏡系列，經過 16 年的不斷研發改進，如今已是成熟的第三代產品。歷經多年市場考驗，VEGA 已被證實具備非常優異的可靠性及性能優勢，并幫助 TESCAN 在帶電粒子光學領域奠定了地位。

VEGA3掃描電子顯微鏡是一款功能強大的電子顯微鏡系統，可支持高 & 低真空環境操作，并為用戶提供優勢技術。如提高圖像采集速度的高性能電子設備、靜態和動態圖像畸變補償的超快掃描系統、用戶自定義的應用程序腳本等。此外，由于使用了強力的渦淪分子泵和機械泵，因而可以快速簡單地得到干凈的真空樣品室。VEGA3 有四種樣品室可供選擇：SB、LM、XM 和 GM，樣品室配備多種接口，為 EDS、WDS 和 EBSD 分析附件的安裝設計了幾何結構。VEGA 系列產品一直保持著非常高的性價比，可滿足當今科研及工業的掃描電鏡應用需求。

突出特點

• 四透鏡大視野（Wide Field Optics™) 設計、專有的中間鏡（IML）電子束優化功能，并可提供多種工作模式和顯示模式；
• 中間鏡設計（IML），采用電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同連續可調的光闌；
• 結合了電子光學設計的實時電子束追蹤技術（In-Flight Beam Tracing™) 可模擬和進行束斑優化；
• 無需任何機械對中的鏡筒設計，使光路合軸和校準*自動化；
• 可實現高通量、大面積自動化檢測，如自動顆粒分布和分析；
• 配有經過計算機優化、馬達驅動的全自動優中心樣品臺(compucentric stage)

• 有利于 EDS、WDS、EBSD 分析的理想幾何設計，無畸變的 EBSD 工作模式；
• 強力渦淪分子泵和機械泵，可快速簡單地得到干凈的真空樣品室；
• 全自動化顯微鏡設置，包括電子光學設置和對齊；
• 用于 SEM 操控、圖像采集、歸檔、處理及分析的專業軟件；支持多語言多用戶環境；
• 網絡操作和內置的遠程控制/診斷功能；
• 采用 3D 電子束技術（3D Beam Technology ）可獲得實時立體成像。