真空計(jì)（Vacuum Gauge)，又稱規(guī)，是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。
1、用電離計(jì)檢漏時(shí)，示漏物質(zhì)應(yīng)選用電離效果與殘余氣體有可能大差異者，電離效果包括電離率及電離電位兩者的綜合結(jié)果，一般用氫，氦，二氧化碳等。
2、用熱真空計(jì)檢漏時(shí)，示漏物質(zhì)可用氫，二氧化碳，丙酮。酒精等。一般說(shuō)來(lái)，用氣體噴吹用液體覆蓋為好，因?yàn)橐后w往往會(huì)堵塞漏孔，還會(huì)污染真空系統(tǒng)或器件，熱真空計(jì)因?yàn)閼T性大，反應(yīng)慢，檢漏時(shí)巡噴速度不宜過(guò)快，并仔細(xì)觀察，認(rèn)真判別是系統(tǒng)的壓強(qiáng)波動(dòng)，儀器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物質(zhì)離開(kāi)后，儀器指示恢復(fù)原狀的，才是真正的漏孔。熱真空計(jì)檢漏，要在它的測(cè)量范圍的真空度下，才能有效，即只適用于10-1——10-3托的真空度范圍。它哪呢過(guò)檢出最小漏孔為1*10-5托升/秒。
電離計(jì)的反應(yīng)熱真空計(jì)快，但因示漏氣體在真空系統(tǒng)中建立足夠分壓需要較長(zhǎng)時(shí)間，故巡噴速度亦不能太快。電離計(jì)能檢漏的壓力范圍，大致同于其測(cè)量范圍，故各種類(lèi)型電離計(jì)各有其檢漏的壓力范圍。電離計(jì)能檢的最小可檢漏孔約為1*10-6——1*10-7托升/秒。
在真空計(jì)檢漏中，即使示漏氣體對(duì)著漏孔噴吹。或者示漏液體涂于漏孔，實(shí)際上都不可避免要夾帶有空氣進(jìn)去，即示漏物質(zhì)并沒(méi)有*取代空氣。帶進(jìn)去的空氣一方面沖淡了示漏物質(zhì)的作用，另一方面還會(huì)引起不必要的讀數(shù)波動(dòng)，因?yàn)榛爝M(jìn)的空氣分量時(shí)大時(shí)小。
