原子吸收光譜儀空心陰極燈的結構如圖所示，在密閉的硬質玻璃殼內封入一個位于燈的中心線上、內徑為2~5mm、由被測元素材料制成的空心圓筒形陰極，以及一個偏置的由鈦、鋯、鉭或其他材料制成的陽極。
燈內充有壓強2~10mmHg的惰性氣體。燈的前端正對陰極口的位置是光學窗。陰極套在陶瓷或玻璃屏蔽管中以避免陰極外側放電放光。云母屏蔽片也有助于使放電集中在陰極內側，同時還能使陰極定位的作用。等一般配有八角燈座，陰極和陽極通過引線分別與燈座的1和3腳插針相連接。
原子吸收分析用的空心陰極燈，其性能與等的結構設計，充入氣體的種類和佳壓強的選擇、各部件的加工及陰極的形狀、制燈工藝條件以及等的正確使用等因素有著密切關系。空心陰極燈的陰極形狀設計和充入的氣體是兩個至關重要的因素。
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