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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡
能對(duì)應(yīng)200mm晶圓和FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用），能夠應(yīng)對(duì)從明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)亮度光圈連動(dòng)能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)。這些功能實(shí)現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61
奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡
OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX51是一款高性?xún)r(jià)比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長(zhǎng)時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。
快速切換物鏡，提高檢查速度
OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX51
OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX51是一款高性?xún)r(jià)比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長(zhǎng)時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類(lèi)型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。
鮮明圖像和不錯(cuò)的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來(lái)的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無(wú)論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng)
UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正）
機(jī)身
觀察方法
明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光
反射/透射
反射/透射
照明裝置
機(jī)身一體型（明視場(chǎng)，暗視場(chǎng)＋1選件）
照明系統(tǒng)
反射照明
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明
纖維光導(dǎo)
對(duì)焦單元
電動(dòng)/手動(dòng)
手動(dòng)
行程
32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm
大樣本高度
30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器
電動(dòng)型
明視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔
手動(dòng)式
-
載物臺(tái)
行程
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm
觀察筒
廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22）
倒置
雙目/三目觀察筒
正像
三目觀察筒
超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5）
倒置
三目觀察筒
正像
傾斜三目觀察筒
附件單元
DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸
509（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合）
重量
40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）