高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程，不僅需要高靈敏度的檢測器，還需要樣品本身的特性和背景，如吸附、取樣和分析過程中是否有空氣混入，系統(tǒng)、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)。氦離子氣相色譜儀已成為國內(nèi)專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，并順利完成分析氣體中的微量雜質(zhì)，尤其是ppb級雜質(zhì)。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，檢測濃度為5ppb。儀器配備高靈敏度氦電離檢測器，進(jìn)樣閥配備吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計，并配備進(jìn)樣壓力自動校準(zhǔn)系統(tǒng)，保證不同背景氣體樣品的進(jìn)樣量。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氫氣、氧氣、氬氣、氮氣、氦氣、氖氣、氪氣、氙氣、二氧化碳等氣體中微量雜質(zhì)的檢測。儀器配備高靈敏度氦電離（PDHID）檢測器，采用中心切割反吹掃技術(shù)，配備帶吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣凈化器。通過無死體積采樣或在線采樣，一次性完成上述高純氣體中H2、O2(AR)、N2、CH4、Co、CO2或C1-C4等碳?xì)浠衔锏瘸Ｒ婋s質(zhì)的檢測，具有檢測限達(dá)到ppb級，重復(fù)性RSD≤1%。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體和電子工業(yè)氣體中微量雜質(zhì)的檢測。以氣相色譜儀為載體，配備氦電離（PDHID）檢測器；采用四閥五柱中心切割反吹掃技術(shù)。取樣、切換閥均為六通或十通閥，帶吹掃保護(hù)氣路，以上部件與氦氣凈化器和死體積取樣閥一起構(gòu)成了一套完整的高純氣體分析解決方案。
