雜質

CH4

CO2

N2O

靈敏度（ppb）

<15

<10

<20

<10

<20

<10

serics 600DID氦離子色譜儀的檢測原理：

放電離子化檢測器的結構如圖6所示。該檢測器由電離室和放電室兩部分組成，兩室之間有狹路相通。當在

放電室內的兩個高壓電極上加以適量高壓電后，兩電極之間就會產生放電，從而得到一束高能量的紫外光輻射（

400－500nm）。高能紫外光被引入射向電離室內，在這過程中，高能光子直接照射樣品成份中被測雜質分子，

使其電離形成離子，或者高能光子首先將載氣氦原子激發至亞穩態（He*），然后具有較高能量的He*再與樣品

中雜質分子發生非彈性碰撞并使其電離。此時在集電極上加以適當電壓收集被電離的雜質分子，并將其信號放大

記錄即得到被測成份的譜峰。由于光子具有較高能量（24.8ev），因此可使包括氖在內的一切物質分子電離，所

以，DID是一種高靈敏度、通用型檢測器。

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重點介紹DID氦離子色譜儀的主要參數與工作原理