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AL120顯微鏡AL120晶圓搬送機(jī)可對(duì)應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
AL120-12 顯微鏡光學(xué)顯微鏡由目鏡,物鏡,粗準(zhǔn)焦螺旋,細(xì)準(zhǔn)焦螺旋,壓片夾,通光孔,遮光器,轉(zhuǎn)換器,反光鏡;載物臺(tái),鏡臂,鏡筒,鏡座,聚光器,光闌組成。
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