晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內(nèi)保障高精度

可集成到末端執(zhí)行器內(nèi)，非常適合晶圓映射

為滿足您的晶圓映射需求，巴魯夫提供高精度光電傳感器，可集成到末端執(zhí)行器內(nèi)。我們的映射傳感器經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，適合極薄的末端執(zhí)行器，傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性*，因此，該傳感器可識(shí)別甚至只有幾微米厚度的晶圓，精度*。該傳感器能可靠識(shí)別整個(gè)卡槽，重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識(shí)別。

 

 

映射傳感器基于光電Micromote技術(shù)，它將一個(gè)極小的光學(xué)傳感器頭與外部處理單元（放大器）組合到一起，兩者通過高柔性電纜連接。這意味著您可以將傳感器應(yīng)用于任何機(jī)械安裝方式，與其他Micromote傳感器一樣。

特點(diǎn)

• 傳感器電纜非常緊湊、柔韌性高
• 多功能傳感器頭
• 使用BAE外部放大器，靈活性好，適用于各種應(yīng)用

  BOH00EZ

  BOH TI-R002-033-TF-01-S49F
• 采用創(chuàng)新性傳感器元件的MicroMote傳感器的模塊化系統(tǒng)可滿足您的個(gè)性化要求：多樣的殼體設(shè)計(jì)可確保*的設(shè)計(jì)靈活性、精密的光電元件可確保在任何應(yīng)用中都能實(shí)現(xiàn)的過程精度。主要特點(diǎn)

  型號(hào)系列

  R002

  尺寸

  2.4 x 1.5 x 7 mm

  接口

  用于開關(guān)放大器

  功能原理

  光學(xué)傳感器頭

  功能原理，光學(xué)

  對(duì)射型傳感器

  輻射特性

  發(fā)散

  光線類型

  LED，紅外線

  作用范圍

  0 m~800 mm

  接口

  電纜及插接器，M8x1插口，3針，1 m，PFA

  外殼材料

  LCP，天然
  環(huán)氧樹脂玻璃纖維

  感應(yīng)面，材料

  環(huán)氧樹脂

  許可/一致性

  CE, WEEE