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CCD視覺對位和運(yùn)動控制思路 UVW平臺XXY平臺

閱讀:2627        發(fā)布時間:2023-1-7

一、UVW平臺介紹

1、這是一種可以實(shí)現(xiàn)以平面上任意一點(diǎn)為中心,進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的裝置,并可沿著任意的方向平移。
2、此平臺和視覺CCD糾偏系統(tǒng)對接在一起,可以很快完成高精度的糾偏工作,重復(fù)定位精度一般可達(dá)±1μm;

UVW平臺和以前的xyθ平臺相比,有以下幾點(diǎn)不同:
1、控制精度高于xyθ平臺;
2、UVW平臺可以平面上任意一點(diǎn)為中心做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(包括無限遠(yuǎn));而xyθ平臺由于僅僅依靠一個電機(jī)的轉(zhuǎn)動控制,所以旋轉(zhuǎn)中心必須是固定在平臺上某處(θ電機(jī)連接處),且必須隨平臺一同運(yùn)動。
3、基于第二點(diǎn)的區(qū)別,顯然UVW平臺是需要一個絕對坐標(biāo)系作為參考系,其旋轉(zhuǎn)中心才有意義;而xyθ平臺則必須是一個隨平臺動的坐標(biāo)系作為參考系,這樣控制計算方法便不一樣了。

UVW平臺工作模式如下圖:

二、視覺對位計算方法

簡單說明一下視覺對位和運(yùn)動控制思路:
1、通過UVW平臺供應(yīng)商提供的說明書,找到機(jī)械參數(shù),得到UVW三個軸的初始坐標(biāo)(基于UVW平臺原點(diǎn)坐標(biāo)系);
2、通過視覺標(biāo)定方法,確定相機(jī)坐標(biāo)系到UVW平臺坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換矩陣;確定標(biāo)志物模板基于UVW平臺原點(diǎn)坐標(biāo)系的坐標(biāo)值(x_m, y_m);
3、通過相機(jī)得到標(biāo)志物模板位置和待糾偏標(biāo)志物之間的x、y、θ偏移量(基于UVW平臺原點(diǎn)坐標(biāo)系);
4、按照上圖公式,輸入三個軸初始坐標(biāo),設(shè)置旋轉(zhuǎn)中心為(0,0),輸入θ偏移量,可得到UVW三軸新的坐標(biāo)值,以及待糾偏物體的新的坐標(biāo),以及三個電機(jī)對應(yīng)的給進(jìn)量A1、A2、A3;
5、輸入上一步求得的UVW三軸新的坐標(biāo)值,另外通過上一步求得的待糾偏物體的新的坐標(biāo),計算得此時待糾偏物體到模板點(diǎn)位置的x2、y2偏移量;輸入x2、y2偏移量,則可以得到三個電機(jī)對應(yīng)的給進(jìn)量B1、B2、B3;
6、將5和6步獲取的三個電機(jī)的給進(jìn)量對應(yīng)相加,分別得到對應(yīng)電機(jī)給進(jìn)量C1、C2、C3,并用此給進(jìn)量驅(qū)動對應(yīng)電機(jī)即可。即是,將運(yùn)動過程拆解,變成平移和旋轉(zhuǎn)部分,分別計算電機(jī)給進(jìn)量。


三、基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺





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