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技術文章

EUCHNER AY-OS-LSR-156915光柵對準輔助設備工作原理

閱讀:147          發布時間:2025-5-30

    在工業自動化與精密制造領域,光柵對準技術是實現高精度加工與檢測的核心環節。德國安士能公司(Euchner)推出的AY-OS-LSR-156915光柵對準輔助設備,憑借其較好的光學性能與人性化設計,成為激光加工、半導體制造及科研實驗中精密工具。

一、產品核心技術與工作原理

AY-OS-LSR-156915基于莫爾條紋光學原理實現亞微米級位移測量。設備內置標尺光柵與讀數頭,當兩者發生相對位移時,交叉光柵線紋產生明暗相間的干涉條紋。通過高精度光電傳感器捕捉條紋變化,系統可實時計算位移量,精度可達0.1μm。其雙光束冗余設計(2束光路)確保檢測可靠性,即使單束光路受阻,設備仍能正常工作。

設備支持透射式與反射式光柵自由切換,適應不同安裝場景。透射式光柵將光源與接收裝置分置兩側,適合開放空間;反射式光柵則集成光源與接收器,適用于緊湊型設備。此外,設備采用蝸輪蝸桿微調機構,傳動比達100:1,用戶轉動蝸桿100°即可實現光柵1°的精準調整,告別傳統手工校準的誤差困擾。

二、技術參數與性能優勢

參數規格

光束數2束(冗余安全設計)

保護區域高度510 mm(覆蓋大面積檢測需求)

檢測范圍12 m(長距離安全監測)

響應時間≤3 ms(快速響應障礙物)

工作電壓DC 24V ±20%(兼容工業電源)

電流400 mA(低功耗設計)

防護等級IP65/IP67(防塵防水,適應惡劣環境)

環境溫度-30°C 至 55°C(寬溫工作范圍)

安全標準符合EN ISO 13849-1,性能等級PL c,安全完整性等級SIL 1

接口M12接插頭(5針發送器/8針接收器,支持熱插拔)

性能亮點:

抗振動設計:金屬外殼與鋅合金齒輪箱組合,通過10g振動測試(10-500Hz),確保工業現場穩定性。

溫度補償:內置溫度傳感器,自動修正光柵熱膨脹誤差(-30°C至55°C范圍內精度波動≤0.5μm)。

多軸聯動:支持X/Y/Z三軸同步調整,通過PLC控制器可編程設定運動軌跡,適配復雜光路系統。

三、應用場景與解決方案

工業自動化

激光加工:在激光切割、焊接中,設備可實時校準光束路徑,確保加工精度±0.01mm。

半導體制造:用于光刻機光路對準,減少芯片缺陷率至0.001%以下。

機器人安全防護:檢測人員或異物進入危險區域,響應時間≤30ms,遠低于行業平均水平(50ms)。

醫療設備

手術機器人:輔助顯微外科手術中光學器械的精準定位。

光學儀器校準:用于內窺鏡、顯微鏡的光路調試,提升診斷準確性。

科研與測量

光譜分析:在光譜儀中校準光柵角度,分辨率提升至0.01nm。

干涉儀校準:配合ZEISS SPECTRUM三坐標測量機,實現納米級表面形貌檢測。


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