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技術文章

M-3手持式電阻率測試儀適用于器件廠、科研單位、高等院校對導體

點擊次數:1601 發布時間:2021-9-10

M-3手持式電阻率測試儀概述
M-3型手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
      成套組成:由M-3主機、選配的四探針探頭等二部分組成,也可加配測試臺。
儀器所有參數設定、功能轉換全部采用輕觸按鍵輸入;具有零位、滿度自校功能;手動/自動轉換量程可選;測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電電池供電,適合手持式變動場合操作使用!
      探頭選配:根據不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配專用探頭,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、使用簡便等特點。

儀器適用于半導體材料廠、器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的手持式導電性能的測試。


M-3手持式電阻率測試儀基本技術參數
1. 測量范圍、分辨率
    電    阻:   0.010Ω ~ 50.00kΩ,     分辨率0.001 ~ 10 Ω
    電 阻 率:   0.010Ω~ 20.00kΩ-cm,分辨率0.001 ~ 10 Ω-cm
    方塊電阻:   0.050Ω~ 100.0kΩ/□   分辨率0.001 ~ 10 Ω/□
2. 可測材料尺寸
   手持方式不限材料尺寸,但加配測試臺則由選配測試臺決定如下:
    直    徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm。
    SZT-C方測試臺直接測試方式180mm×180mm。
    長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm。.
    測量方位: 軸向、徑向均可.
3. 量程劃分及誤差等級
量程(Ω-cm/□)
2.000
20.00
200.0
2.000k
20.00k
電阻測試范圍
0.010~2.200
2.000~22.00
20.00~220.0
0.200~2.200k
2.000~50.00k
電阻率/方阻
0.010/0.050~2.200
2.000~22.00
20.00~220.0
0.200~2.200k
2.000~20.00k
基本誤差
±1%FSB±2LSB
±2%FSB±2LSB










4) 適配器工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,或電池供電

5) 外形尺寸:W×H×L=10cm×3.6cm×21cm
凈   重:≤0.3kg


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