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技術文章

加野0.1μm級超小型粒子計數器為芯片制造保駕護航

點擊次數:1899 發布時間:2021-9-19

加野0.1μm級超小型粒子計數器為芯片制造保駕護航

2020年9月15日,美國禁止為華為提供5G芯片,也不準用機器為華為生產5G芯片,導致華為空有一身強悍技術,卻因為光刻機等原因缺芯少魂,無處施展。美國采取“斷供"的方式已對中國59家企業實施“制裁",如果這一批科技產業鏈*們倒下,中國的全產業鏈升級、中國制造大升級將*失敗,絕非危言聳聽。
 
國人當自強!光刻機、光刻膠、芯片研發等全產業鏈的所有生產、技術都要自主研發,12寸晶圓、光掩膜、EUV光源、透鏡等都要自己制造,芯片自主化生產之路已成必然趨勢。

20210819115846558.jpg

 
由于芯片制造工藝及封裝等生產流程極其復雜,對生產環境的凈化要求*,必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路,控制凈化環境下的作業現場中超微小顆粒物數量至關重要、b不可少!

 

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KANOMAX公司推出的超小型粒子計數器3950,同時監測0.1μm和0.3μm的單位體積內的微小粒子個數,也可作為傳感器嵌入生產設備實時監測作業現場的超微粒子,為凈化作業環境的潔凈度評定提供依據,為芯片制造保駕護航!
 
Kanomax顛f性的技術革新,超小型粒子計數器MODEL 3950,不僅將經典品質傳承,而且w美實現了嵌入組裝在半導體制造等裝置中,致輕、致小,采樣量2.83L/min,同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色觸摸顯示屏,可使用附帶軟件在PC上顯示測試數據。設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。
 
通過超小型化的設計,使0.1μm級粒子計數器可嵌入裝備使用。

微信圖片_20210919130223.jpg

 
應用范圍:
作為傳感器嵌入到設備裝置中
潔凈室的清潔度管理
高清潔度區域的管理


品    名塵埃粒子計數器
型    號3950-00
粒子測量測試方法光散射法
粒徑通道2粒徑(0.1、0.3μm)
額定流量0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)
測量時間6秒~99分59秒(1次測量時間)
間隔時間6秒~99分59秒(測量周期)
采樣次數1~999次 或 連續測試
地點設定99個地點
測量方式重復、單次、連續、計算
測量數據顯示時間1~10秒
測量數據顯示累計值∑ 差分值△及柱形圖
最大可測濃度10,000,000個/m3
計數效率50±20%(相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子)
100±10%(相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
偽 計 數<1個/35min
粒徑分辨率15%以下(相對0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
氣    源內置泵
顯示器4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
通迅功能本    體USB(Host用于打印機、USB存儲;Device用于與PC鏈接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)
數據存儲媒    體內存
數量、格式最大10,000個、CSV格式
顯示語言英文、日語
電   源AC100~240V
使用環境本    體15~35℃、0~85%RH (無結露)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重    量3.4kg

 
Kanomax超小型粒子計數器3950自推出以來好評不斷,廣泛應用于半導體、生物制藥、食品衛生、空調凈化、精密機械等眾多行業測試領域。


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