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擴散爐恒溫槽是上海百典專為太陽能、光伏行業，源瓶恒溫，半導體擴散爐配套而設計的配套型恒溫槽。

◆采用高精度動態恒溫控制技術和SMT裝配技術，*恒溫波動度達±0.05℃，專門為半導體擴散爐配套。

◆ 提供單個源瓶、兩個源瓶、和四個源瓶的結構形式，適合不同的應用需求。

◆ 將源瓶與水介質*隔離的鐵氟龍隔離套，將任何泄漏事故引起的危險降低到zui低程度。

◆ 采用全封閉磁力泵循環攪拌，溫場均勻，*泄漏。通過將傳感器與循環泵液流的一體化設計，大大提高控溫精度和溫場均勻性。

◆ 液槽內膽、瓶源隔離套、電熱器和蒸發器等可能與工作介質接觸的部件采用不銹鋼材料，其中瓶源隔離套內壁經鐵氟龍處理，專門解決擴散爐應用問題。

 

系列產品

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