空氣相對濕度

≤85%

工作電壓

AC220V±10% 50/60Hz

功率

1KW

系統整體極限真空度

5.0*10-5pa

實驗真空度

5.0*10-3pa

外形尺寸

600*600*650mm

機械泵

抽氣速率：4L/S

容油量：1.1L

電機功率：400W

極限壓強：6×10^-2Pa

分子泵

抽氣速率：100L/S

極限壓強：6×10^-6Pa

啟動時間：＜2min

額定轉速：4300轉/分

冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時，水冷。

分子泵控制器

電壓：220V±22V

啟動電流：≤7A

輸入頻率：47HZ—63HZ

最大輸出功率：≤150W

最大加速電壓：≤40V

加速時間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

                     低速430HZ±5HZ

復合真空計

測量路數：2路（電阻規、電離規各1路）

工作模式：手動/自動

電阻單元參數

測量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范圍：2.5×10^>3Pa~5.0×10^-1Pa

電離單元參數

可測范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規管除氣方式：焦耳去氣

其他參數

控制路數：4

控制方式：點動或區域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時間：1S

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%

連接管路

采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于1.0×10^-9Pa.m³/s