目錄:安徽貝意克設備技術有限公司>>CVD系統>> BTF-1200C-SL-A等離子增加化學氣相沉積CVD系統
一、設備簡介
BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統。本設備集真空系統、供氣流量系統、自動推進、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調，加熱區域長度：1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復合薄膜，連續生長各種薄膜等。
二、技術參數
功率 | 3KW |
額定電壓 | AC 220V 50/60HZ |
最高溫度 | 1200℃ |
工作溫度 | 1100℃ |
推薦升溫速率 | 10℃/min |
空開大小（自備） | 2P 40A |
爐管尺寸 | 高純石英管Φ100*1400mm
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最大滑動距離 | 880mm |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
質量流量計 | 兩路500sccm+5000sccm |
機械泵 | 10m3/h |
設備凈重 | 約230Kg |
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