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將廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)、工業(yè)氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝、元器件在組裝前的漏率測(cè)試及要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件下的應(yīng)用場(chǎng)合
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
1、進(jìn)口的多口分子泵； 2、雙燈絲自動(dòng)切換； 3、自動(dòng)調(diào)零； 4、自動(dòng)校準(zhǔn)； 5、自動(dòng)量程切換； 6、銥絲離子源，使用壽命更長(zhǎng)； 7、全自動(dòng)控制，彩色觸摸屏顯示，功能強(qiáng)大； 8、帶有數(shù)據(jù)輸出功能。
SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀將廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)、工業(yè)氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝、元器件在組裝前的漏率測(cè)試及要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件下的應(yīng)用場(chǎng)合。 |
