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氦氣純化器

Valco氣體純化器的純化基質是一種無揮發性、有加熱活化的吸附性合金，此穩定的合金包含在焊接組件中，所以可以安全簡單地使用。吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性氣體環境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴散，防止氧氣鈍化層的形成。氦氣和氮氣純化器有一自動調控的特征設計，它保持吸附劑材料于zui適溫度，消除了熱量流失的可能性。

氦氣純化器

*   可純化氣體：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

*   zui高操作壓強：1000 psig

*   可去除雜質：出口雜質低于10ppb H₂O、H₂、O₂、N₂、NO、NH₃、CO、CO₂和CH₄，此基于10ppm入口雜質總量，其它去除雜質包括CF₄、CCl₄、SiH₄ 和輕質烴。

*   未被去除雜質：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

氮氣純化器

*   可純化氣體：只有N₂

*   zui高操作壓強：1000 psig

*   可去除雜質：出口雜質低于10ppb H₂O、H₂、O₂、NO、NH₃、CO、CO₂和CH₄，此基于10ppm入口雜質總量，其它去除雜質包括CF₄、CCl₄、SiH₄ 和輕質烴。

*   未被去除雜質：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn、N₂