產地：意大利ETG
簡介：

●實時超靈敏監測氨，HCI，HF含量

●快速高精度測量

●不會使用到任何的放射物質；

●多點分析，大通道數可達16通道

●便攜

●無需校準

深紫外（DUV）光刻工藝已經被證明對許多種分子空氣污染物特別敏感，氨氣和酸性氣體會在整個生產區域產生問題。抗紫外材料、長壽命過濾器的使用并沒有減少對周圍環境空氣監測的需求，事實上，

環境空氣分子污染物的監測顯得越來越重要。ORION 3100系統的測量原理基于CEAS（腔體增強吸收光譜）技術，有效延長空氣過濾器的使用壽命和減少故障出現次數。通過ETG HMI（人機交互界面）軟件，操作者可以實時對位于不同測量點的多臺氨，HCI，HF分析儀進行控制。這個軟件專門為半導體行業設計，主要用于深紫外光刻工藝環境空氣監測。該軟件也可用于其它工業或實驗室現場監測，但是需要用到一臺或多臺CEAS分析儀實現多點采樣。該軟件建立在Windows操作系統之上，采用交互控制報警，具有數據采集，歷史數據趨勢記錄和基本測量等功能。

環境空氣中的污染物監測對于半導體生產過程起到越來越重要的作用。對于整個半導體行業來說，也提出了快速探測，快速發出警報，極低的探測極限，大的采樣區域，同時對多種氣體實現靈敏探測等要求。對于DUV光刻工藝來說，由于氨，胺類，NMP和酸類物質會與化學增幅抗蝕劑發生反應，不利于光刻進程的進行，因此能否對這些組分進行有效的監測對于整個光刻工藝起到關重要的作用。

傳統方法例如撞擊濾塵器，離子色譜，化學熒光法，分析速度太慢，操作過程太復雜，昂貴并且測量結果不。ETG采用CEAS技術，能夠快速探測得到氨，HCI，HF，SO2，VOC's含量，采用脈沖熒光法探測SO2，采用增強GC-FID探測VOC含量，是目前市場上強大的半導體環境污染物監測設備之一。

ORION 3100是一款多點監測系統，能夠按順序將氣體送入到分析儀或傳感器，完成濃度測量。ORION 3100可以輸出來自4-6臺分析儀或傳感器的數據，使用以太網，網絡傳輸協議，RS485/RS232或4-20mA模擬模塊。每一個分析儀內置有一個電腦（Linux OS），支持將數據存儲和數據輸出，另外還支持遠程網絡控制。

原理基于近紅外領域高靈敏度吸收測量CEAS。測量單元包括一個兩端采用高反射率鏡片密封的圓柱管。激光束經過固態校準器（FSR=2.00GHz）時會測量得到相對激光波長。為了保證清晰度，原本傳播到測量單元外的光束會經過左側的腔鏡，被省略了。

CEAS技術相比于*代CRDS技術（光腔衰蕩光譜）有很多優勢。簡單來說，由于激光光束共振耦合到測量單

元（對于光束是否對齊沒有要求）。

ORION 3100主要特色：

●實時ppb水平測量

●采用CEAS技術

●整個運行過程持續進行，無需操作者照看，可以在惡劣有危險的環境中使用

●整個操作過程不會使用到溶劑，放射性物質，紙帶，吸附劑以及其他安規的耗材等

●長時間穩定性；

●采用固態電子元件，組件不發生移動

●為了保證更長的運行時間，儀器幾乎免維護；

●每一臺監測儀在出廠時你都會進行校準；

●可用于單組份或多組分測量；

●多點采樣，多可達16通道；

●成程序化警報和故障繼電器；

●可程序化采樣順序；

●開放式通訊協議，更容易嵌入到已經存在的系統中；

●發生電源中斷或者出現關機將不會發生數據損失；

●連接1/4"OD；

●管道：PFA，PVDF；

●單通道管線大長度：80m；

●PC色彩VGA觸摸顯示屏，支持圖形顯示；

●可以采用遠程控制軟件實現遠程可視化；

●信號輸出：RS232，以太網，可選：4-20mA，網絡通訊協議；

μVOC-CAM型潔凈室氣態分子污染物監測儀

產地：意大利ETG 簡介： ?全自動在線質量監控系統 ? 探測VOC含量 ? 對污染物進行定性和形態分析 ? 探測水平可達ppb以下 ? 集成PC，支持數據處理 ? 有機化合物探測水平可達ppb水平 ? 采樣點可多達16個 氣態分子污染物（AMC）是高科技制造行業非常關心的一個問題，特別是微電子行業。有機污染物會對生產工具產生不利的影響，終導致額外的花費。 無污染的生產環境不只是空想，是可以付諸實踐的，但是需要對原材料和制造進程中的空氣過濾裝置進行嚴格的控制。*的空氣分子污染物監測可以幫助穩定生產，增加過濾裝置的使用壽命。 通過μVOC-CAM監測儀，用戶可以長時間在線監測氣態分子污染物的含量，而不需要像使用采樣器那樣只在某一個時間點進行測量。測量精度水平可達ppb水平以下。 探測精度水平持續保持在ppb以下： 丁酮，*基硅烷，丙酮，乙醇，異丙醇，環己烷，乳酸乙酯，正己烷，乙苯，丁醇，醋酸乙酯，二甲苯，苯乙烯，苯，甲苯，六甲基二硅烷，丙二醇甲醚醋酸酯及其他組分。 運行原理： 長久以來，氣象色譜就是測量和分離復雜分子化合物的主要選擇。氣象色譜法取決于樣品的蒸發性以及色譜柱對不同組分的吸收能力。 組分被色譜柱洗脫后，由火焰離子檢測器（FID）對其電導性進行監測，從而得到組分的含量。*的吹掃和采樣系統使探測水平可達ppb以下水平。 規格參數： 測量原理：火焰電離氣相色譜法 尺寸（H×W×D）：160cmx60cmx80cm 外殼：NEMA 12或IP54有不銹鋼 操作溫度：10℃~ 35℃ 通訊：RS-232, 以太網, ODBC 氣體要求：CDA 5 l/min H2 130 sccm(也可選擇 H2發生器） 采樣通道：多達16通道 分辨率：0.1 ppb 探測組分：可多達30種，用戶自定義 測量范圍：0-200 ppb