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PLASMA低溫等離子表面處理設備由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。等離子清洗機是在真空狀態下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.02-0.03mbar 的真空度，再在高頻發生器作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態）。高頻發生器提供能量使氣體電離成等離子態。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

等離子清洗機處理的工藝： 表面激活Surface Activation 表面清潔Surface Cleaning 顯微蝕刻Micro Etching 等離子接枝、聚合Plasma Polymerization 

等離子清洗機，LCD顯示屏粘合前采用等離子清洗機活化去除污染物

等離子清洗機機在電子電路及半導體領域的應用：等離子清洗機表面處理這門工藝現在正應用于LCD、LED、 IC，PCB，SMT、BGA、引線框架、平板顯示器的清洗和蝕刻等領域。等離子清洗機處理過的IC可顯著提高焊線邦定強度，減少電路故障的可能性；溢出的樹脂、殘余的感光阻劑、溶液殘渣及其他有機污染物暴露于等離子體區域中，短時間內就能清除。

PCB制造商用等離子清洗機處理來去除污物和帶走鉆孔中的絕緣物。對許多產品，不論它們是應用于工業還是電子、航空、健康等行業，其可靠性很大一部分都依賴于兩個表面之間的粘合強度。不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的復合物，經過等離子處理以后都能有效地提高粘合力，從而提高zui終產品的質量。等離子清洗機處理在提高任何材料表面活性的過程中是安全的、環保的、經濟的。

利用等離子清洗機對材料進行表面處理，在高速高能量的等離子體的轟擊下，這些材料結構表面得以zui大化，同時在材料表面形成一個活性層，這樣橡膠、塑料就能夠進行印刷、粘合、涂覆等操作。